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通常扩散泵的性能是以极限真空、大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。

1.极限真空

如果对一般油扩散泵的结构进行改进，如减少油蒸气的返流，加分镏装置，合理分配加热功率，改进喷嘴角度设计，加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使扩散泵性能大大改善，极限真空可达到更低的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6Pa，起始压力正好是机械泵的极限压力，因此，油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵，将真空度抽到10^-1Pa后才能开始工作。

2.大反压强

大反压强是指扩散泵所允许的前置压强大值。如果前级泵所产生的压强高于大反压强，则扩散泵就不能正常工作。

3.抽气速率

扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。

4.设置冷阱及低温挡板的原因

由于扩散泵喷嘴喷出来的油蒸气分子，大部分由泵壁冷凝，这是因为泵壁外设置冷却水套或冷却管道的缘故。但是有少部分蒸气分子被泵壁反射，散射会返回被抽空间，这种现象在低温实验室中要特别注意。如在扩散泵和被抽容器之前加上冷阱或低温挡板，这样就能使返加的蒸气被冷凝下来，截止了油蒸气的返流。

影响油扩散泵性能的因素如下。

扩散泵是真空镀膜机的主要部件，为保证真空镀膜机的正常稳定运行，平时对真空镀膜机扩散泵的维护和***就显得尤为重要。今天成越科仪就给大家分享一下真空镀膜机扩散泵维修与***知识。

扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。

被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

扩散泵如暂时不用，保管期间应该保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。

锅炉内泵油的不稳定沸腾，会使喷出的蒸汽射流的密度波动，从而引起抽速和轻气体压缩比的变化。锅炉可能一时过热，使之有一段爆沸的时间，其补救的办法是在现代的油扩散泵中采用有翼片的锅炉，增加内表面积，降低热流密度，增加功率能使爆沸减低到小或消除。在真空中，强力的爆沸，会引起自爆升腾，对喷咀，引起瞬间堵塞，造成汽流波动。泵内加防爆板可以防止爆沸的影响，因对轻气体压缩比低，可引起压力的不稳定，增加功率和泵的级数是有利的。在扩散泵中设置侧面出口喷射喷咀和扩压器，可使扩散泵这种不稳定性减至小。顶喷咀帽过冷也会引起蒸汽流不连续，导致压力的不稳定。设法保持顶喷咀的温度不降，不使其过冷。来自橡胶密封的气泡，有时油捕集气体，通过密封胶圈渗透放出，因气泡有一定压力使油膜后进入系统中。密封槽内集存的泵油应能排出，可使不稳定减少，若用金属垫圈就更好了。设计良好的冷帽能防止油滴落到顶喷咀的热表面上蒸发。在用碳氢化合物泵油时，操作不当，扩散泵系统有发生的***。大多数情况下规管的灯丝就是点火源。泵的日常操作要规范，定期检查泵油的质和量。